【光刻机、光刻胶概念走高 凯美特气、西陇科学双双涨停】蓝鲸新闻5月21日电，午后凯美特气、西陇科学拉升涨停，肯特催化冲击涨停，瑞联新材、国风新材、新莱应材、华特气体等纷纷冲高。