3月30日，半导体板块内部表现分化，设备股集体走强，截至收盘，中证半导体材料设备主题指数上涨2.6%，中证芯片产业指数下跌0.3%，上证科创板芯片指数下跌0.5%，上证科创板芯片设计主题指数下跌1.0%，半导体设备ETF易方达（159558，联接基金A/C：021893/021894）全天获超5000万份净申购。